Другие журналы
Поздняков Василий Георгиевич
Исследование профиля выработки плоского дискового катода магнетронной распылительной системы
Молодежный научно-технический вестник # 05, май 2016
УДК: 621.793.182
Молодежный научно-технический вестник # 05, май 2016
УДК: 621.793.182
Проведено измерение профилей выработки двух катодов магнетронных распылительных систем различных диаметров. Было проанализировано распределение глубины выработки по радиусу катода. Получена зависимость коэффициента использования материала катода от размера катода, а также от радиуса и максимальной глубины зоны выработки. Определено максимально достижимое значение коэффициента использования материала катода.
Исследование влияния плотности ионного тока на образование дефектов на поверхности ситалла при ионно-лучевой обработке
Инженерное образование # 06, июнь 2015
DOI: 10.7463/0615.0786539
Инженерное образование # 06, июнь 2015
DOI: 10.7463/0615.0786539
С. 397-408
| Авторы |
| Пресс-релизы |
| Библиотека |
| Конференции |
| Выставки |
| О проекте |
| Телефон: +7 (915) 336-07-65 (строго: среда; пятница c 11-00 до 17-00) |
|
 |
|||
| © 2003-2024 «Наука и образование» Перепечатка материалов журнала без согласования с редакцией запрещена Тел.: +7 (915) 336-07-65 (строго: среда; пятница c 11-00 до 17-00) | |||||
