Куликов Илья Валерьевич

В данной статье рассматривается процесс импульсного лазерного осаждения на примере технологического оборудования НаноФАБ-100. Приведено описание устройства модуля PLD.Проведен анализ наиболее значимых параметров и исследовано их влияние на свойства пленок: выбор режима лазерного излучения для получения необходимых свойств, влияние температуры подложки на скорость роста и структуру пленок, необходимость задания движения сканатора, мишени и подложки для равномерного нанесения пленок по всей площади подложки и равномерного использования мишени, влияние расстояния подложка-мишень на производительность и чистоту поверхности, возможность  подачи газов для получения новых структур в процессе осаждения.

В данной статье представлен химический способ получения технологического рисунка проводящего 35 мкм медного слоя на фольгированном 100 мкм полиимиде для последующего осаждения на него термоэлектрического материала на основе Bi₂Te₃. Рассматривается процесс подготовки подложки из полиимида для создания необходимой геометрии термоэлектрического модуля для 0,1-1,0 мм техпроцесса. Проведено исследование оптимальных режимов химической обработки, методом импульсного лазерного осаждения экспериментально получены макетные образцы гибких термоэлектрических модулей на подготовленных подложках.