Горелов Дмитрий Викторович

Исследован способ получения толстопленочного концентратора магнитного поля методом электрохимического осаждения пермаллоя с использованием фоторезистивной маски на металлизированную поверхность кристалла. Получена зависимость толщин пленок пермаллоя от времени электрохимического осаждения.Полученные концентраторы имеют все преимущества, чтобы быть использованными для усиления магнитного поля. Среди таких характеристик низкая коэрцитивная сила и высокая магнитная проницаемость.Применение электрохимического осаждения позволяет получить концентраторы магнитного поля толщиной 8-12 мкм при осаждении пермаллоя на пластины диаметром 100 мм в течение технологического времени со скоростью 100-300 нм/мин.Применение электрохимического осаждения позволяет ускорить процесс мелкосерийного производства концентраторов за счет возможности осадить сплав на большую площадь, занимаемую концентраторами на пластине диаметром 100 мм.Проведено исследование топографии концентраторов магнитного поля в составе пластины.