Попова Мария Григорьевна

Статья посвящена изучению особенностей нанесения твердосмазочных покрытий на основе дисульфида молибдена. Методом магнетронного распыления многокомпонентной прессованной мишени состава Ti+Al+MoS₂ на стальных и ситалловых  подложках получены нанокомпозитные покрытия. В статье представлены результаты исследований химического состава и микроструктурных особенностей мишени на разных стадиях распыления. По мере распыления мишени наблюдалось снижение доли MoS₂ и увеличение количества  Ti в составе покрытия. Следует отметить, что данная технология является альтернативой существующему методу реализации тонкопленочных покрытий. Перспективы ее применения связаны с увеличением однородности состава получаемых пленок, а также со снижением сложности используемого технологического оборудования.