Другие журналы
Зимин Дмитрий Дмитриевич
Влияние парциального состава газовой смеси на характеристики магнетронного разряда с алюминиевым катодом
Молодежный научно-технический вестник # 07, июль 2014
УДК: 67.05
Молодежный научно-технический вестник # 07, июль 2014
УДК: 67.05
Рассмотрен процесс реактивного напыления плёнки оксида алюминия на стеклянную подложку. Получены вольт-амперные характеристики магнетронного разряда при различных парциальных составах газовой смеси. Определён наиболее оптимальный режим горения магнетронного разряда для реактивного напыления оксида алюминия.
| Авторы |
| Пресс-релизы |
| Библиотека |
| Конференции |
| Выставки |
| О проекте |
| Телефон: +7 (915) 336-07-65 (строго: среда; пятница c 11-00 до 17-00) |
|
 |
|||
| © 2003-2024 «Наука и образование» Перепечатка материалов журнала без согласования с редакцией запрещена Тел.: +7 (915) 336-07-65 (строго: среда; пятница c 11-00 до 17-00) | |||||
