Другие журналы
|
Синев Леонид Станиславович
Оценка механических напряжений в соединенных при повышенной температуре кремнии и стекле
Инженерное образование # 12, декабрь 2014 DOI: 10.7463/1214.0745310 С. 951 - 965
Особенности применения электростатического соединения кремния со стеклом в микросистемной технике
Инженерный вестник # 08, август 2014 УДК: 621.3.049.779:621.791.9:621.792.6 Эта статья — обзор технологического процесса электростатического соединения (анодной посадки) и особенностей его применения в разработках микроэлектромеханических систем. Представленнный обзор показывает, что технологический процесс электростатического соединения хорошо зарекомендовал себя. Для соединения полированных поверхностей без топологии он является простым в реализации. В то же время, для сложных конструкций микроэлектромеханических систем, где применяются гибкие подвижные элементы, где требуется обеспечивать соединение вблизи КМОП элементов или использовать герметичные электрические вводы, процесс разработки должен включать оптимизацию конструкции и режимов проведения процесса соединения экспериментальными методами и методами математического моделирования с целью получения наиболее эффективных результатов.
|
|
||||||||||||||||||||||||||||||||
|