Другие журналы

Зимин Александр Михайлович

Исследование взаимодействия дейтериевой плазмы с вольфрамовыми мишенями
Инженерное образование # 12, декабрь 2013
DOI: 10.7463/1213.0669439
Работа посвящена исследованию особенностей формирования тонких вольфрамовых плёнок, образующихся в результате распыления вольфрамовой мишени дейтериевой плазмой магнетронного разряда. Показано, что содержание дейтерия в плёнке сравнимо с концентрацией осаждённых атомов вольфрама. Захваченный дейтерий находится в порах, формируемых в процессе роста поверхностного слоя. Расстояние между распыляемой мишенью и подложкой, на которой формируется плёнка, является важным параметром, определяющим характеристики плёнок. При увеличении этого расстояния уменьшается количество соосаждённого дейтерия, что приводит к уменьшению пористости и увеличению плотности плёнок.
 
ПОИСК
 
elibrary crossref ulrichsweb neicon rusycon
 
ЮБИЛЕИ
ФОТОРЕПОРТАЖИ
 
СОБЫТИЯ
 
НОВОСТНАЯ ЛЕНТА



Авторы
Пресс-релизы
Библиотека
Конференции
Выставки
О проекте
Rambler's Top100
Телефон: +7 (915) 336-07-65 (строго: среда; пятница c 11-00 до 17-00)
  RSS
© 2003-2020 «Наука и образование»
Перепечатка материалов журнала без согласования с редакцией запрещена
 Тел.: +7 (915) 336-07-65 (строго: среда; пятница c 11-00 до 17-00)