Другие журналы
|
Бабурин Александр Сергеевич
Вакуумная малогабаритная технологическая лабораторная установка
Молодежный научно-технический вестник # 01, январь 2013 УДК: 00062 Целью проекта являлась разработка и создание актуальной и конкурентной технологической установки для проведения лабораторных и научно-исследовательских работ.В результате проекта были реализованы следующие ключевые параметры:1. Максимальная наглядность всех осуществляемых технологических процессов;2. Использование в едином вакуумном цикле методов электронно-лучевого испарения, ионно-лучевого осаждения и травления, ионно-плазменного и ионно-лучевого ассистирования и модификации, ВЧ магнетронного распыления;3. Безмасляный вакуум с предельным давлением не хуже 10-3 Па;4. Высокая точность задания и поддержания соотношения рабочих газов.5. Максимальная автоматизация всех технологических источников для упрощения работы с установкой в условиях учебной лаборатории, и интеграции ее в учебно-научный комплекс с интерфейсом удаленного доступа.6. Компактные габариты установки для удобного ее размещения в обычной учебной лаборатории.
|
|
||||||||||||||||||||||||||||||||
|