Другие журналы
|
Захаров Е.В.
Исследование способов создания конденсаторов в технологии КНИ
Молодежный научно-технический вестник # 10, октябрь 2012 УДК: 00 В статье изложены результаты исследования по созданию конденсаторов в технологии КНИ, а также приводятся результаты измерения тестовых структур разной геометрии, изготовленных по технологии 0,35мкм КНИ.
|
|
||||||||||||||||||||||||||||||||
|