Другие журналы
|
![]() ![]() Чухраев Игорь Владимирович
77-30569/332565 Перспективные методы контроля зарядовой нестабильности подзатворного диэлектрика МДП-приборов
Инженерное образование # 04, апрель 2012 Дан анализ современных методов контроля дефектности МДП-приборов и зарядовой стабильности подзатворного диэлектрика структур металл-диэлектрик-полупроводник. Определены особенности работы современных МДП-приборов с учетом уменьшения технологических норм. Показано, что наиболее перспективным является электрофизический метод на основе метода управляемой токовой нагрузки, позволяющий анализировать быстрорелаксирующие процессы, протекающие в диэлектрике непосредственно после стрессовых воздействий.
77-30569/332405 Методика мониторинга генерации заряда в наноразмерном диэлектрике МДП-транзистора
Инженерное образование # 02, февраль 2012 Предложена методика мониторинга зарядовой деградация диэлектрика наноразмерных короткоканальных МДП-транзисторов при сильнополевой туннельной инжекции при различных температурах. Предлагается использование последовательного измерения Id(Vg) совместно с инжекционной нагрузкой. Предложенный метод подтверждает наличие экспоненциальной зависимости между зарядкой/разрядкой ловушек в диэлектрике и временем измерений.
77-30569/332441 Исследование дефектности изоляции и зарядовой дефектности подзатворного диэлектрика МДП-структур с Al и жидкими электродами
Инженерное образование # 03, март 2012 В статье представлены результаты статистических измерений напряжения микропробоя и заряда, инжектированного в подзатворный диэлектрик до пробоя, МДП-структур с различными материалами верхнего электрода. Проведена сравнительная оценка дефектности изоляции и зарядовой дефектности пленки SiO2-ФСС МДП-структур с Al и жидкими электродами. Показана принципиальная возможность использования МДП-структур с жидкими электродами на основе Hg и эвтектического соединения InGa для оперативного получения информации о качестве подзатворного диэлектрика до проведения операции металлизации.
|
|
||||||||||||||||||||||||||||||||
|