Назаров Николай Григорьевич

С. 122-134

В статье рассмотрены вопросы создания математической модели движения абразивного зерна в процессе абразивно-экструзионной обработки (АЭО). Это позволит расширить возможности технологии. Суть АЭО заключается в продавливании (экструзии) абразивной пасты вдоль обрабатываемых поверхностей (в большинстве случаев сквозных отверстий) и съема материала абразивными частицами, содержащимися в пасте, состоящей из абразивных зерен и связующего вещества в виде вязко-упругой жидкости. Использование существующих моделей не может объяснить сущности процесса движения зерна и его воздействия на материал обрабатываемой поверхности.  Автор обосновывает необходимость введения в основное уравнение модели упругих характеристикик связующей жидкости, а также показателя концентрации абразивных зерен.

Рассмотрены расчетные модели изменения теплонапряженности процесса прерывистого резания и их связь с технико-экономическими показателями обработки, позволяющие оценить изменение периода стойкости режущего инструмента и производительности труда в зависимости от кинематических особенностей процесса. Приводятся технологические операции и виды работ (лезвийной, абразивной, поверхностного пластического деформирования) с цикличным изменением режимных параметров, при исследовании которых или отработке на этапе технологической подготовки производства целесообразно применять представленные модели.

В статье рассмотрены вопросы применения абразивно-экструзионной обработки к механическому геттерированию кремниевых пластин, являющихся заготовками для подложек микросхем. Отсутствие локальных высоких контактных давлений, равномерность силового воздействия по всей поверхности одновременно обрабатываемых пластин, позволяют предположить, что такой обработкой создать равномерно напряженное поле по всей поверхности кремниевой пластины, создавая, таким образом, механический геттер, т.е. снятие напряжений в подложке. От этого зависит качество и плотность нанесения элементов.