Толоконов Юрий Олегович

Рассмотрено применение метода химико-механического полирования для планаризации поверхности подложек в нано- и микросистемной технике. Предложена методика расчёта распределения величин износа по обрабатываемой поверхности при химико-механическом полировании. Приведены результаты расчёта распределения величин износа по обрабатываемой поверхности для некоторых режимов обработки подложек. Результаты исследования могут быть использованы при проектировании операций химико-механического полирования поверхности подложек в нано- и микросистемной технике.

В статье рассматриваются вопросы применения информационно-содержательных моделей для разнохарактерных образовательных объектов и составление методических рекомендаций по оценкам их качества, а также методика определения степени наглядности представления информации в дистанционном обучении по федеральному государственному образовательному стандарту нового поколения «Наноинженерия», определяющего принципы подготовки специалистов новой формации.