Другие журналы
|
Макаров Валерий Викторович
77-30569/239713 Анализ поверхности тонких пленок Bi2Te3 осажденных методом импульсной лазерной абляции.
Инженерное образование # 10, октябрь 2011 Проведен анализ поверхности тонких пленок теллурида висмута, полученных с помощью метода импульсной лазерной абляции. Тонкие пленки осаждались в вакууме на монокристаллические подогретые кремниевые подложки с помощью эксимерного Kr-F2лазера. Исследовалась морфология поверхности пленок, осажденных при различных температурах в камере, а также нанорельеф поверхности пленок, полученных при различных расстояниях между облучаемой мишенью и подложкой.
|
|
||||||||||||||||||||||||||||||||
|