Косолапов И А

В работе на примере микрооптоэлектромеханического акселерометра на основе интерферометра Фабри-Перо рассматривается моделирование подсистем МЭМС различной физической природы, а так же методы перехода между ними с использованием языка формального описания VHDL-AMS. В рамках исследований проводилось моделирование оптической, механической и управляющей подсистем, представлены результаты, полученные при моделировании этих подсистем. Отмечено, что преимуществом использования языка VHDL-AMS является его универсальность, возможность описания смешанных аналого-цифровых систем, а так же поддержка многими программными пакетами, используемыми при моделировании МЭМС.

В докладе представлена концепция системы стабилизации на базе МЭМС гироскопа. Рассмотрены различные типы систем стабилизации, их преимущества и недостатки, а также область применения. Обоснован выбор МЭМС гироскопа для системы стабилизации. Описаны основные принципы работы МЭМС гироскопов. Проведено сравнение характеристик аналоговых и цифровых МЭМС гироскопов, предложен ряд моделей от различных производителей. Рассмотрены сравнительные характеристики предложенных моделей гироскопов. Разработан прототип конструкции системы стабилизации. Представлены экспериментальные печатные платы для работы с МЭМС гироскопами в составе системы стабилизации.