Другие журналы
|
Тарнавский Геннадий Адамович
Легирование подложки кремния со сложным нанорельефом поверхности: дистанционное компьютерное моделирование
Инженерное образование # 02, февраль 2010 На основе компьютерного моделирования проводится исследование влияния параметров технологического процесса (прицельного угла и энергии имплантации) на распределения концентраций легирующих примесей в кремниевой подложке со сложным нанорельефом поверхности.
Дистанционное обучение, легирование кремния: компьютерное моделирование в режиме удаленого доступа
Инженерное образование # 10, октябрь 2009
Рассматривается программный комплекс,
предназначенный для дистанционного обучения. Приводятся методика и результаты
компьютерного моделирования процесса легирования кремния, использующегося для
создания полупроводниковых материалов.
|
|
||||||||||||||||||||||||||||||||
|